A. Pregelj
Institut za elektroniko
in vakuumsko tehniko
1111 Ljubljana, Teslova 30
M. Drab, J. Novak, M. Mozetic , IEVT Ljubljana
A. Paulin, Univerza v Mariboru, Fakulteta ERI, Maribor
Pri razvoju domace ionskogetrske (IG) crpalke je bilo potrebno
pripraviti preizkusni crpalni sistem za ugotavljanje njenih
sposobnosti. Sistem mora poleg menjavanja crpalk zagotavljati se
osnovno iz crpavanje, meritve tlakov ter vpuscanje in merjenje
pretoka preskusnega plina. Vse sestavne dele smo izdelali v
ultravisokovakuumski (UVV) tehniki, osrednji delovni recipient pa
tudi skladno z mednarodnimi standardi. Prispevek podaja merilne
metode, normative za izvajanje meritev in izvedbo za ta namen
potrebnega vakuumskega sistema.
Kljucne besede: meritve tlaka, visoki vakuum, ionskogetrska
crpalka, crpalna hitrost, metoda za zaslonko
Developing a new ion getter (IG) pump we had to prepare an
arrangement for testing the pump performances. Besides pumps
changing possibility the system had to enable pressure
measurements, metering the inlet test gas and determination of
its flow. All components were made in ultra high vacuum technique
and the central vessel also in agreement with international
standards. The contribution represents the measuring principles,
the norms for test operations and the system realization.
Key words: pressure measurement, high vacuum, iongetter pump,
pumping speed, orifice method