I. Grasic
Univerza v Mariboru
Fakulteta za elektrotehniko,
racunalnistvo in informatiko
2000 Maribor, Smetanova 17
A. Paulin, Fakulteta za el., rac., in inf.
Maribor
P. Juzina, A. Pregelj, Inztitut za elektroniko in vakuumsko
tehniko, Ljubljana
Pri razvoju ionsko geterske crpalke smo naleteli na problem pri
napajanju omenjene crpalke z visoko napetostjo. Napajalnik mora
poleg enosmerne napetosti z majhno valovitostjo in pretokovne
zascite zagotavljati tudi daljse kratkosticno obratovanje. Pri
nizkih tokovih se mora vesti priblizno tako, kot idealni
napetostni generator, pri visokih tokovih pa kot vir z visoko
notranjo upornostjo. Ker crpalka ne prenasa dolgotrajnih
toplotnih obremenitev ob zacetku crpanja, mora napajalnik
poskrbeti za pravocasen izklop delovanja, ce start ni bil
uspesen. Poseben problem predstavljajo elementi, ki so pod visoko
napetostjo, visokonapetostne prevodnice in kabel, ki povezuje
napajalnik in crpalko. V clanku sta opisani konstrukcija in
izvedba taksnega napajalnika.
Kljucne besede: ionizacija, getranje, napajalnik
visokonapetostni, nacrtovanje vezij, DC/DC pretvornik, AC/DC
pretvornik
The power supply for ion-getter pump must, beside requirements
for small voltage ripple and over current protection, provide
also short-circuit operating. At low value of output current it
must behave like an ideal voltage source, and at a higher value
like a source with appreciable output impedance. Since the pump
could not operate under long-term thermic overcharging at its
start, the power supply should switch off itself, if the start is
not satisfactory. A special care has to be considered on elements
under high voltage, feedthroughs and a connecting cable between
the pump and supply. This paper presents a construction and
realization of this kind of power supply.
Key words: ionization, sputtering, high voltage power supply,
circuit design, DC/DC converter, AC/DC converter