Merjenje globinske porazdelitve koncentracije vodika v materialih z metodo ERDA

Measurement of Depth Profiles of Hydrogen in Solids by ERDA Method


B. Zorko
Institut Jozef Stefan,br> Odsek za fiziko srednjih in nizkih energij
1111 Ljubljana, Jamova 39

M. Budnar, IJS Ljubljana

V prispevku predstavljamo jedrsko spektroskopsko metodo ERDA, ki
smo jo vpeljali v laboratoriju za atomske raziskave na Institutu
Jozef Stefan v Ljubljani. Z metodo ERDA smo izmerili globinsko
porazdelitev koncentracije vodika v vzorcih poliimida (kapton) in
amorfnega silicija (a-Si : H).

Kljucne besede: spektroskopija trdnih snovi, detekcija vodika v
trdni snovi

A nuclear spectroscopic method installed in the laboratory for
atomic spectroscopy at the J. Stefan Institute will be
introduced. The depth profiles of hydrogen in polyimid (kapton)
and amorphous silicon (a-Si : H) measured by ERDA method are
presented.

Key words: solid state spectroscopy, hydrogen detection in solids